平台规格（长×宽）mm
平台精度等级
1级
2级
3级
平面度公差（um）
1000×750
18
36
90
1000×1000
20
39
96
1000×1200
40
100
1000×1500
24
48
120
1000×2000
26
52
130
1500×2000
28
56
140
1500×2500
32
64
152
1500×3000
70
174
2000×3000
74
184
2000×4000
88
219
