平台规格(长×宽)mm |
平台精度等级 |
||
1级 |
2级 |
3级 |
|
平面度公差(um) |
|||
1000×750 |
18 |
36 |
90 |
1000×1000 |
20 |
39 |
96 |
1000×1200 |
20 |
40 |
100 |
1000×1500 |
24 |
48 |
120 |
1000×2000 |
26 |
52 |
130 |
1500×2000 |
28 |
56 |
140 |
1500×2500 |
32 |
64 |
152 |
1500×3000 |
|
70 |
174 |
2000×3000 |
|
74 |
184 |
2000×4000 |
|
88 |
219 |